6ES7 412-3HJ14-0AB0处理器

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在工业控制中，用PLC控制的工程在上/下位机通讯上一般采用RS-232/RS-485串口通讯，这种方法对于数据量较大，通讯距离较远，实时性要求高的控制系统，很难满足通讯需要。

　　近年来随着计算机网络技术的飞速发展,网络化数控已经成为现代制造业发展的必然趋势, 控制系统正向虚拟化、网络化、集成化、分布化和节点智能化的方向发展。[1]许多大型PLC厂商生产的PLC都配备了相应的以太网通信模块，本文讨论了OMRON PLC的以太网通信体系结构，并以CP1H PLC的ENT2l以太网模块为例实现与计算机的通信。

1. Winsock网络通信控件

　　Winsock控件是不可视控件，它提供了访问TCP和UDP网络服务非常简便的途径，使编程人员开发客户/服务器应用程序时，不必了解TCP的细节或调用低级的Winsock API函数，只通过设置Winsock控件的属性并调用其方法，就可直接连接到一台远程计算机进行，并可实现双向数据交换。

　　WinSock主要支持两种类型的套接字:①流式套接字（Stream Socket）也称面向连接方式,该方式对应的是TCP协议,其传输特点是通信可靠性高,可以保证数据流的传输是可靠的、有序的、无重复的,可提供双向的数据流,数据被看作字节流,无长度限制。②数据报套接字（Datagram Socket）又称无连接方式,对应的是UDP协议,这种方式不提供数据传输的正确性、有序性和无重复性,因为它支持面向记录的数据流。因此,传输的数据可能丢失和重复,并且接收顺序混乱,报文长度是有限的。考虑到本系统对通信可靠性和正确性的要求很高,选用流式套接字方式。基于Client/Server模式的流式套接字通讯过程如图1所示。

2.Ethernet网络通信单元的设置

　　在组建网络时，根据网络类型的不同，网络中的每个节点需要安装相应的通信单元，PLC上需安装Ethernet网络通信模块，例如0MR0N公司的CJ1W—ETN21以太网模块。应用之前必需对网络进行必要的设置，分为开关设置和CPU总线单元系统设置。

　　开关设置主要包括以下几项内容：确定分配给CJ1W—ETN21单元的内存工作区（CIO区、DM区），该地址在CPU总线区，由UNIT No.开关确定ETN单元的单元号范围为0～F;NODE No.旋转开关设定两组l6进制数作为ETN单元在网络中的节点号，范围为O1～7E;IP地址设置网络号和主机节点号，由32位二进制数组成，分4段以十进制数表示。

　　CPU总线单元设置主要通过编程设备如CX—Programmer软件或编程器对网络单元进行模式、本地IP地址、子网掩码、FINS端口号、FTP登录名及口令和IP路由器表等项进行设定。若使用FINS/TCP协议，则还需在以太网单元设置中修改FINS/TCP项的部分参数，如：自动分配的FINS节点号、是否保持激活等项。

3.面向上位计算机的通信协议

　　如图2所示，以太网的分层模型分为物理层（Physical Layer）、网际层（Internet Layer）、传输层（Transpot Layer）和应用层（Application Layer）。其中：传输层可使用无连接的UDP或需建立连接的TCP协议;应用层为FINS（Factory Interface Network Service）协议，FINS协议是由OMRON公司开发的用于工厂自动化控制网络的指令响应系统。主要规定对PLC存储空间的数据读写等操作方法。应用层使用FINS协议，传输层使用TCP协议的通信实现方法称为FINS/TCP方法。

图2 网络的分层结构

　　FINS协议包含指令系统和响应系统，其命令帧格是由FINS报头、指令代码、响应代码和正文等几部分组成。从上位计算机发出的指令和响应符合下面帧的格式要求，并提供合适的FINS报头信息。[3-4]FINS通信服务是通过FINS命令帧和它们对应的响应帧交换实现的。

　　FINS命令/响应帧格式如图3所示。FINS/TCP header中规定了五种命令，用于客户机（host computer）与服务器（PLC）之间通信：发送客户机节点地址（node address）;（2）发送服务器节点地址（node address）;（3）发送Fins frame;（4）Fins frame发送出错通知;（5）客户机与服务器联机确认。

图3 FINS命令/响应帧格式

4.通信程序的具体实现

　　在新建VB工程后，需要执行VB工具栏“工程/部件” 命令，将Winsock控件添加到工程中， 并命名为“WskClient”。程序采用TCP/IP协议进行通信，其主要属性设定如下：

　　With WskClient

　　.Protocol = sckTCPProtocol ‘采用TCP/IP协议

　　.LocalPort = 9600 ‘本地计算机端口号

　　.RemoteHost = txtIP.Text ‘取得远程PLC的IP地址

　　.RemotePort = txtPort.Text ‘远程PLC端口号

　　.Bind 9600 ‘指定使用的本地端口

　　End With

　　初始化工作完成后向PLC提出连接请求，待PLC接受请求并发送应答信息后，客户端程序依照各种帧格式建立好要发送的信息帧，就可以与PLC进行双向的数据交流了。在这一过程中，可建立发送失败后的重发机制，以增强通信的可靠性。

　　首先，建立并发送“握手信息”指令（20字节），指明客户机节点号;当计算机接收到PLC返回帧（24字节）后，检查PLC是否收到命令，并取得服务器和客户机节点号。当计算机接收到PLC返回的数据时，会产生DataArrival事件，参数BytesTotal包含接收到的数据字节数。在DataArrival事件中，可以调用GetData方法接收数据。如果接收到Close事件，则用Close方法关闭连接。另外，可用Winsock的State属性来反映当前TCP/IP的连接状态。这里仅列举主要程序如下：

　　‘向服务器请求连接

　　WskClient.Connect

　　TimeDelay 100

　　Do

　　DoEvent

　　Loop Until WskClient.state=sckConnected

　　‘建立并发送FINS命令帧

　　Private Sub SendData_Click（）

　　ReDim SendData （19） As Byte

　　SendData （0） = &H46‘FINS命令帧报头的第1个字节

　　……

　　WskClient.SendData SendData（） ‘发送FINS命令帧

　　End Sub

　　‘接收PLC响应帧，并分析数据

　　Private Sub WskClient_DataArrival（ByVal bytesTotal As Long）

　　Dim i As Integer

　　ReDim ArriveData（bytesTotal） As Byte

　　wsk.GetData ArriveData, vbArray + vbByte, bytesTotal

　　‘接收数据，保存在ArriveData数组中

　　For i = 0 To bytesTotal - 1

　　txtArData.Text = txtArData.Text & " " & ArriveData （i）

　　Next i

　　……‘其它数据处理

　　If ArriveData（7） <> 16 Then

　MsgBox“接收信息丢失“

　　ElseIf SendData（19）= ArriveData （bytesTotal-5） Then

　　MsgBox“节点地址错误“

　End If

　　End If

在接收信息后,当PLC收到传输过去的信息后,会将对应的命令反馈值传回,这个事件程序内的程序将它显示在文本框中,还可作进一步处理。主程序流程图如图4所示。

图4 程序流程图

　　若采用UDP协议，则通信的基本过程与TCP相同，只是不需要建立连接。此外,UDP应用程序可以是客户机,也可以是服务器,而不必象TCP应用程序那样分别建立客户机程序和服务器程序。由于UDP在传输数据报前不用在客户和服务器之间建立一个连接，且没有超时重发等机制，故而传输速度很快。因此如果网络中设备不是很多，且发送数据量不大时，可选择耗费计算机“资源”更小的UDP协议进行通信。

5.结束语

　　采用Winsock控件实现的上位机以太网通信程序，已成功应用于数字小样并条机监控系统中，该法简单实用,在不追加投资的情况下,实现车间设备的网络数据实时监控的功能，达到了理想的效果。而且以VB作为监控软件的开发平台，软件的二次开发不受限制，节约成本，并可根据需要随时对程序进行升级。为实现对控制系统进行有效的信息管理与监控，基于以太网的PLC控制系统必将有更为广泛的应用，本文的论述对解决这类问题提供了参考价值。

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MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、CompactLogix/1769/1768、

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8：Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

9：XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。

10：GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件。

11：Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

12：Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

13：Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

14:工业机器人系统备件。

Kurt J. Lesker 750-005-G1 

Semitool 500R0409-01 50 

Semitool 300MM Heater Pedestal 70901-98 

Entegris S6205-0203 6.2 

Pall T7107010300 Housing Filter CMP  T46141-33 

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Semitool Ceradyne 950T0006-01 

Pall T7100080300 Housing Filter CMP  T46141-36 

Semitool Bimba Air Cylinder D-63536-A-2 

Semitool 16812B Interface Board 16812-01 UEI476699 

Semitool 220T0007-501 Hi 

Semitool Air Cylinder ST72068-111 

Semitool 4 Channel Interface Board 14837G 

Tencor Instruments Wafer Cassette Sender/Reject 

Semitool Motor Interface PCB 16753A-517 

Semitool 16750-505 32 Bit

M and W Systems RPCE52A-SSMT  Kit 70900-302 

Semitool Pacific Scientific CW00029  Kit 61110-07

Semitool Emoteq Hathaway E3-1000-250-I  Assembly LT01787

Pall VCSC100-10M3T 10-inch Filter T93041310016  T46141-43 

Semitool 14831-01 

Semitool 61590-33 

Semitool Solenoid Valve Manifold 32 stg 3-way 61590-38 

Semitool High Temp HEPA Filter 04MBU003 36" X 24" 

NT International 4210-100G-F04-D12-A-P1-U1 NT  70961-106 

NT International 4210-100G-F06-D06-A-P2-S2 NT  70961-50 

Pall T7107020300 Vara Clean CET Filter T46141-35 

Semitool 213T0181-517 Rev D 

Semitool 16753A 

Semitool 14830B 

Semitool 14831A 

Semitool 14837H 

Semitool 16799-501 32 Bit  16799C-501 

Semitool 16750-505 32 Bit Input  16750C-505

Semitool 16750-507 32 Bit Input 302 Board 16750C-507 E 

Semitool 16750-507 32 Bit 302 Board 16750C-507 

Emoteq HS01001-A02-HGE BLDC  T61105-47 

Semitool Solenoid Valve Manifold 20 Stage 3-Way 61593-09 

Semitool Solenoid Bank 3-Way 5 Pop 15 Blnk 61593-12 

Futurestar 148-01000-38  Semitool 72056-91 

CKD 4SB019-C3 20-Port  FL139571 TEL ACT 12 

Fostec 80951-0 Dual Slit Macro 

Applied Motion 1000-213 

Power-One HDD15-5-A  ±15V 

Nikon 4S588-064 Linear Motor Controller SPA454C MSCL NSR-S307E 

Nikon 4S588-065 Linear Motor Controller SPA454D MSCR NSR-S307E 

Nikon 4S588-064 Linear Motor Controller SPA454C 4S013-373-2 NSR-S307E 

Nikon 4S588-472-2 Linear Motor Controller SPA454B MSCR NSR-S307E 

Nikon 4S587-471-2 Linear Motor Controller SPA454A MSCL NSR-S307E 

Nikon MH-15M-CCB AF Halving Motor/Digimic Send Side TC-214008G NSR-S307E

Nikon 4S587-470-3 Linear Motor Controller SPA452B WYR NSR-S307E 

Nikon 4S587-468-2 Linear Motor Controller SPA451A WX NSR-S307E 

Nikon 4S588-087-1 Linear Motor Controller SPA355C RF NSR-S307E

Nikon 4S588-087 Linear Motor Controller SPA355B 4S013-374-3 NSR-S307E

Nikon 4S588-087 Linear Motor Controller SPA355B 4S013-374-2 NSR-S307E 

Nikon 4S588-087 Linear Motor Controller SPA355C 4S013-374-2 NSR-S307E 

Yaskawa UT0PI-020SC Minertia Motor REX Theta-Axis UGQMEM-01SNQ71 NSR-S307E

Panasonic MSD261Y22 

Panasonic MSD261Y21 

Nikon 4S587-624 AVIS1 ERG AMP SEA141A NSR-S205C 

Nikon 4S587-625 AVIS2 ERG Amplifier SEA241A NSR-S307E 

Indramat 222721 Servo MAC112C-0-ED-1-B/130-A-0/-I00625/S005 AMAT 1080-90009 

Kensington 25-4021-0015-04  Unit 4000D AMAT 0190-23563 

Pacific Scientific SC755A040-08  Controller SC750 SVG 90S 

Pacific Scientific SC750  121-236 

SVG Silicon Valley Group  121-143G 90S 

Telemecanique LXM15MD40N4 

MKS Instruments 113B-2 Baratron  622 628 Hitachi M-511E 

Panasonic MSDA4ACA1A04 AC 

Bosch 1070917161-101 Servo Module SM-4.7/20-G16 B48674-003 

Nikon 4S064-050 VCM Amplifier 3-Axis Motor SPA1A NSR-S204B 

Kollmorgen MAG02-25021-001 2-Channel  AMAT 0190-16633 

Balzers BG 445 013-S  Assembly BG 545 649-T 

NSK ESB-SSB020A23F2-02  Drive TEL 5080-192754-11 

Novellus 02-259457-00 C3 

Kondoh Kohsya LM-101 Controller  DSM-007 

Ultrapointe 000276 Spectrometer 

National Instruments 181445K-01 Controller  M-224.50 

ASML 4022.470.0884 Servo

Pacific Scientific  6415-001-N-N-N 

Yokogawa SR1200A02 -2SN1C/96S2895 DD 

Oriental Motor 4054-LD4 5-Phase 

Parker SX6-DRIVE 

Yaskawa SGMAS-12ABA-TE11 AC  GH7-11 

Gurley Precision 25/045-NB16-IA-PPA-VAR1E-AAX 

Omron R88M-W05030T AC Servo Motor VRSF-PB-5B-50 

Gurley Precision A25S-B16P-026A-06E-1TN 

Sanyo Denki P20B13100FXSA2  TEL 5087-400478-15

Panasonic MFA090HA5NSC AC 

Sanyo Denki PY2E015A3MH1P00 

Emoteq BLDC Motor Amplifier QB02300-R04-HBE 

Yokogawa SR1200A02 -2SN1C/96S2895 DD  

Pacific Scientific SC402-010 

ITT Heynau Elektronik TYR-hB Speed  B5123154AA 

Panasonic MSD023A1XX AC  TEL 2980-192233-12 ACT12-300

Panasonic MQMZ022A2D 

Kollmorgen S31061-NA  SERVOSTAR 310 AMAT 

ETEL DSB2P123-111E-000H 

Mitsubishi MR-J2S-350B-ED087 AC Servo MELSERVO 

Oriental Motor A4484-9215KPGM 

Sumitomo RNYX-1420-AG-30 HQPLP-2DHP 

Yaskawa SGMAH-04AAA4C AC 

Jenny Science Sv 50V4-DC  Minimotor 22/2K 54.6:1 

Yaskawa CIMR-J7AA25P5 

Panasonic MSMA082S2N AC 

Gurley Precision 25/045-NB16-IA-PPA-VAR1E-ABA 

Gurley Precision Instruments A25SB16P026A06E1TN 

Berkeley Process Control USA2-11-28-UR 

NSK ESA-J1003AF9-20 

NSK ESA-J1003AF9-Z0 

Omron R88M-W20030T-S2 AC 

Semitool 220T0007-501 Hi 

Emoteq BLDC Motor Amplifier HS01001-A02-HGE 

Newport Z598B Driver Amplifier Z1 Z2 Z3 

Glentek SMA8310-1 Servo Drive  KLA-Tencor 003964-000 

Sanyo Denki P20B13100FXSAN AC 

Pacific Scientific BLF2924-12-0-S-002  17410-16

Oriental Motor PK569AUA 5-Phase 

Panasonic MBDCT1507B02 AC 

Panasonic MDDCT5316 AC  TEL Tokyo Electron 5080-192753-11

NSK JS2006FN509  TEL Tokyo Electron 2980-192017-11 ACT12 

NSK JS1003FN506  TEL Tokyo Electron 2980-193373-11 ACT12 

Berkeley Process Control ASM121-A-0/B-22-NB/10 

Mitsubishi MR-J2S-60B-S087 AC Servo MELSERVO

Sanyo Denki PMM-BA-5603-8 5-Phase

Panasonic ADKA100BPTADA AC

Miki Pulley BXH-12-10-A-20 Spring-Actuated 

Mitsubishi MR-J2S-BC001-QE AC

Yamatake DMC50 Multi-loop Controllers DMC50CS 

AMAT Applied Materials 8047-10 2-Way 

Yaskawa CTCACR-02-TE1K 

Omron R88M-W75030T-B AC  NES100W-N15CXN16C 

Semitool Pacific Scientific CW00029  Kit 61110-07 

Panasonic ADKB400BPFADA AC 

Pacific Scientific R24HENA-HA-EB-NV-00 

Torque Systems BMR2005TCG00CEA002 PM 

AMAT Applied Materials 0020-29486  Assembly 0020-64321 

Sanyo Denki PMM-BD-5702-6 5-Phase  TEL 2980-191209-11 ACT12-300 

Festo 0010-05311 Megasonic Box 300mm  0190-77532 

Panasonic MSMA042A113 AC  VRSF-15C-400 

Sanyo Denki R2AA08075FBP77M AC  Hirata HQPLP-2DHP

Panasonic Servo Drive ADKA400BPFADI 

Yaskawa SGM-A8A3TA11 AC Servo Motor TEL CT2980-193372-11 ACT12 

Berkeley Process Control 100-000-721-01  Motor 15-152134-01N 

Oriental Motor 4RK25GN-CW2M AC 

Sanyo Denki R2AA08075FBP77M AC  Hirata HQPLP-2DHP 

Anorad 73777 Brushless Servo Amplifier SMA8415-1C54-003-1A-1-01 

Oriental Motor SMK5160A-AA 

Sanyo Denki PV2B050SXX1AZ0 

Mitsubishi MR-J2S-20A-PQ108T020 AC 

Mitsubishi MR-J2S-40A-PQ108T022 AC 

Mitsubishi MR-J2S-20A-PQ108T021 AC 

Mitsubishi MR-J2S-10A-PQ108T023 AC 

Oriental Motor AC Magnetic  3RK15RGN-AM

NSK EMB014CF1-05 Servo 

Siemens 6SE6420-2UD17-5AA1 Micromaster 420 6SE6400-1PB00-0AA0 

Maxon Motor 137489 DC Motor 

Mitsubishi MR-J2S-40A-S12 AC 

Whedco 35005710 Servo Motor MTR-3N31-H-R-O-N-O Gearhead 518-43-010 

GE Fanuc MTR-3N31-H-R-N-S-A  Motor 518-43-010 

Glentek GMR2340-15-02001800-100  3101163-1 

Panasonic MBDCT1507 AC 

Panasonic MBDCT1503 AC 

Panasonic MCDCT3312 AC 

Pacific Scientific  Servomotor R33GSNC-HS-NS-NV-03 

Oriental Motor 4054-LD4 5-Phase 

Sanyo Denki PV1A030SGDNP50 

Sanyo Denki 103H5505-70E1 TEL 2980-193370-11 

Sanyo Denki 103H5505-70E1  TEL 2980-192105-11 

Oriental Motor A4839-9015KE  TEL CT2986-400875-W1 

Panasonic ADKA500BPFADH 

Parker GV-U6E-310 GV 

Sanyo Denki RS1L03AE0H2 AC 

Sanyo Denki RS1L01AE0H2 AC 

CGI Inc. 023RNX0100-XX-23N08 

Parker MPC1140X-115184 

Oriental Motor UDK5107NW2 Vexta 5-Phase 

Galil Motion Control ICM/AMP 1900 

Glentek GM2345-16-02001810-031 

Berkeley Process BAM-ST 2-Axis 

Sanyo Denki PV1A015SM51P50 

Panasonic MSMA021A1E  KE2-KK10 

Panasonic MSD021A1XX AC 

Miki Pulley BXH-12-10-A-20

Yaskawa SGMAS-A5ABA-TE11 AC Servo Motor TEL JZSP-CSP01-TE11 JZSP-CSM01-TE11 

Emoteq BH02301AF04HBE  994123 

Panasonic MSD011A1XX21 AC 

Sanyo Denki PV1A015SM61P50  PV AMAT 0870-01072 

Sanyo Denki PMDPC1S3P10 PM Driver PRS-4719 

Emoteq BH02301-AF06-HBEE  T61105-12 

Hathaway BH02302-B09-HBE  4000-09 

Emoteq BH02301AF04HBE  Semitool 994103 

Sanyo Denki PMM-BD-57025-1 

Dynax MSS5A3A1XDD AC  Electron T-3044SS 

Dynax MSS043A1XDD AC  Electron T-3044SS 

Sanyo Denki PMM-BA-5653-4 

Panasonic AMKA400B10LAK 

Magmotor 720101152 Servo Motor MTR0059 

CMC Cleveland Machine Controls IC-1115 Servo Motor MTR0059

Grandville-Phillips 354019-TD-T Micro-Ion Module 354 

Oriental Motor B1583-D51KBLM Vexta AC 5GD20K-H1 

Cymer 06-02003-00B Blower Motor for ELS-6600 

Minimotor SA 3556 K BL1 Servo Motor 950658  38/1-246:1 

Emoteq HS01001-A02-HGE  T61105-47 

Oriental Motor B1583-07120KBL AC 

Panasonic MSM021P2A AC 

Sanyo Denki R2AA06020FXP77M AC  ANFX-P110F-2RL3-9

Oriental Motor UDK5114NW2 5-Phase 

Sanyo Denki PV1A015SFYNP50 

Panasonic MADCT1503 AC Servo TEL  5080-192752-11 

Sanyo Denki PV1A030SGDNP50 Servo Amplifier AMAT 0870-01082 

Bio-Rad Y7603203 

Mitsubishi HC-MF23G1-UE Servo motor Takamura K9005

Dynax MSS023A1XDD AC Servo Driver  T-3044SS 

Nissei F2F18L160-UTBR90NNX GTR 3-Phase  40T6 

Nissei F2F18L160-UTBR90NNX GTR 3-Phase 

Nissei Corp F2S15N030-UTBR90NN 3-Phase 

SVG Silicon Valley Group 99-80304-01 

Sanyo Denki R2AA04010FXP1CM AC  HPG-11B-09-F0ADG 

Panasonic ADKB400BPFADH 

Yaskawa SGMAH-01AAA21 AC 

Yaskawa SGMAH-04AAA41 AC 

Whedco 78004123 / 9602  Controller IMC-4231-1-B 

Yaskawa CIMR-J7AA21P5 

ABB ACH550-UH-03A3-4 

Sanyo Denki PMDPC1S3P10 PM Driver PRS-4719 

Oriental Motor UD2115 2-Phase 

Sanyo Denki PMDPA1C3P20 PM Driver Type C AMAT 1080-01276 

Ultrapointe 001002  PCB 00045 KLA-Tencor CRS-3000 

Ultrapointe 00674T  PCB 00045 KLA-Tencor CRS-3000 

Ultrapointe 00678T  PCB 00045 KLA-Tencor CRS-3000 

Yaskawa CIMR-J7AAB0P4 Inverter 200V 0.4kW VS mini J7 

Yaskawa SGMP-A8A3TA11 AC  2980-193371-11 

Answer Engineering 112-153 

PRI Automation PB18251 PCB 

Oriental Motor P4554-NA-A15 5-Phase 

Copley Controls 306 Servo Amplifier 300 

Yaskawa SGMAH-04A1A-AD21

Nissei Corp UGFM-12-5-T25 GTR 3-Phase 

Nissei Corp GF12N005-UTML25NN GTR 3-Phase 

Sanyo Denki R2AA04010FXPICM AC Servo Motor Hirata HQPLP-2DHP 

Mitsubishi MR-J2-10A-S12 AC 

Parker Compumotor C Series 25550 

Oriental Motor EM596-NAE-A3 5-Phase  M-511E 

Parker CX-DH Stepper Indexer Drive Compumotor Rev. Y2 

Parker CX-DH Stepper Indexer Drive Compumotor

Parker CX-DH Stepper Indexer Drive Compumotor Rev. 1N 

Minarik Automation XL3025A-Q-0583 DC 

Appplied Motion 354MO 

Minarik Automation XL3025A-Q-0942 

Applied Motion 354MO 

Pacific Scientific P22NSXA-LDN-NS-02 1.8° 

Oriental Motor ASD13A-A 

Oriental Motor EM596-NAE-A2 5-Phase 

Oriental Motor EM596-NAE-A3 5-Phase 

Mitutoyo 09AAA790 Linear Scale ST320 

Yaskawa JUSP-0P0ZA Digital 

Ogura Clutch RNB 0.8G 

Oriental Motor CSD5807N 5-Phase  2980-193383-11 

Parker CM231XX-112251 AC Servo 

Oriental Motor CSD5807N-P-A11 5-Phase

Oriental Motor CSD5714D 5-Phase 

AMAT Applied Materials 0150-09072 

Tohan TD-102 Servo Drive 5TH56D-253 

Oriental Motor UDX5107N 5-Phase 

Omron S8M-CP04-RS Digital 

Oriental Motor PH265L-04 2-Phase 

Oriental Motor PK566BW-A7 5-Phase 

Oriental Motor PK566-NACD-A2 5-Phase 

Sanyo Denki USD200P10 2 Phase  HQPLP-2DHP 

Sanyo Denki 103H7123-0440  Hirata HQPLP-2DHP 

Pittman 14202D764 DC  LO-COG 

Oriental Motor UDX5114N-E 5-Phase 

Oriental Motor ASD18B-KDN-B6  AMAT 0870-00038 

Sanyo Denki PV1A015SMT1P50 AMAT 1080-00053 

Yaskawa SGDA-01AS AC 

Mitsubishi MR-J2-20A-S12 AC 

Sanyo Denki PV1A030SGDNP50 BL 

Oriental Motor DFR1514 5-Phase 

Pittman GM9413C555 DC Gear Motor SVG 112-019

Pittman GM9413C506 DC Gear Motor SVG 112-001 

Teknic M-2330-109/H1 Servo Motor 2100888 SC030 

Samsung CSDJ-A5CK1 Digital 

Sanyo Denki PV2A015WNF1A00 BL 

Sanyo Denki PV1A015SM61P50DB1 

SMC HRZ010-WS Thermo Chiller TEL 3D13-000007-V1 

SMC INR-498-P002 Heat Exchanger AMAT  0190-18418 

CKD SMC Valve Sensor Assembly CHV-8 VX3344K 

SMC INR-244-215W Thermo-Con  INR-244-244T-670 

SMC NCDQ2B125-UIA970691 300mm Slit Valve AMAT 0040-75863 

SMC INR-244-261 RC 

SMC XLD-100D-X510  Valve ISO100 

TEL Tokyo Electron ISA Slot PCB Module TEB302-1/BP 

AMAT Applied Materials 0240-63968 STEC Z512 N2 20SCCM 

CKD N4S0-T30 Solenoid  N3S010 

SMC INR-244-216C Thermo-Con  RCP INR-244-244T-670 

SMC INR-244-272B 2TP-1B861 

SMC INR-244-216V 

SMC CDQ2B40-01-59469  Hitachi 3-841437 

SMC Pneumatic Cylinder With Shaft US13394 

Ultratech Stepper 18-18-01512 P

CKD 4SB019-C3 Pneumatic Manifold FL139571 2724

SMC CDQSB25-50D-F9N-XB9 CQSB25-50D-XB9 

SMC CDQ2F140C-J9092-XC11 

SMC C92LADF63-100-D-A53L3 Double  C9LA63-DA 

SMC AF3000-03-2R Regulator  AR2500-03G-R-X182 

Nagano Keiki CE10 

SMC CGD1BN20-30-H7A1  Hitachi S2-84410 

SMC 0010-26749 

SMC CDQ2B140C-J0406-XC  Hitachi 3-839273-^A

SMC SS0750-06-X56 6-Port  IN503-10 S07A0-5

SMC SS0750-06-DAO00978 6-Port  AMAT 4060-00846 

SMC SS3Y1-ULB990023 14-Port  AMAT 0190-00375 

SMC 02-121427-00 XGT-0402AWM-X16

SMC 60-254066-00  XGT200-30-1A-X5S As-Is

SMC 02-121427-00  XGT-0402AWM-X16 

SMC 0242-34890  AMAT 3020-00077 0040-50505

SMC VCZW31-5G-15-04-J-X21  AMAT 0190-11558 

SMC CM2XU20-50 Air Cylinder  S3-89145-01 

SMC VQC1100Y-6 8-Port 

SMC VJ3233T 5-Port  Block VJ3133T 

CKD N4S0-T56 15-Port  OPP3-1H 

SMC US5200 13-Port  ARM2000 ISE40-01-22

SMC US5203 13-Port  ARM2000 ISE40-01-22 

SMC 72-252832-00 Slit-Valve Actuator Blank-Off 

SMC VV5Q11-16-DAJ00773 16-Port  AMAT 0190-24963 

SMC VV5Q11-ULB980022 6-Port 

SMC XLA160-30-1-M9BA 

SMC VV5Q11-ULB000113 8-Port  EX160-SDN1 

SMC US5200 13-Port  ARM2000 ISE40-01-22 

SMC CDQ2B40-30D-A73HS  Hitachi 3-853222 

SMC CM2XL20-70 Hitachi S3-89146 

SMC LVA20-02-B 

SMC CDQ2B100-J0736-20 Air Cylinder Hitachi 3-839275 

SMC ZX100-K35LZ-EC  Hitachi 3-827900 

CKD 4SB019-C3 20-Port  FL139571 

CKD 4SB019-C3 20-Port 

SMC NCDQ2B100-10D 

TEL Tokyo Electron LPC-T0008A-11  Board 100-T0008A-11 

SMC NCQ2B32-15DC  Lift SY5120-610Z  KLA-Tencor CRS-3000

SMC 11-Port Pneumatic Manifold SY3140-5LZ 

SMC VV5Q11-16-X1443 16-Port  Manifold NP420-DN2A 

SMC MDUB63-E4126-200  Hitachi 3-839272-^A 

SMC CQ2B63-01-59741  Hitachi 3-823437 

SMC XLD-50-X638 Valve TEL 3D80-000326-V1 

SMC ZM131H-K5LZ-E15  ZSE1-00-15 

TDK TAS-IN8 Backplane  TAS300 

SMC CQ2B20-5D Double  AMAT 3020-01131

Lumina FO-150 Light Source 

SMC CDQ2A50-30D Pneumatic Cylinder CDQ2B63-25D